GB/T 42106-2022 纳米技术 三维纳米结构与器件的加工方法 离子束辐照诱导应变法
Nanotechnology—Fabrication of three dimensional nanostructures and devices—A strain method induced by ion beam irradiation
资源信息
| 标准号 | GB/T 42106-2022 | 标准状态 | 现行 |
|---|---|---|---|
| 发布日期 | 2022-12-30 | 实施日期 | 2023-07-01 |
| 发布单位 | 国家市场监督管理总局、国家标准化管理委员会 | ||
| 归口单位 | 中国科学院 | ||
标准状态：现行标准号：GB/T 42106-2022标准名：纳米技术 三维纳米结构与器件的加工方法 离子束辐照诱导应变法标准英文名：Nanotechnology—Fabrication of three dimensional nanostructures and devices—A strain method induced by ion beam irradiation批准发布部门：中国科学院中国标准分类号：A42国际标准分类号：07.030标准层级：GBT推荐性国家标准
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