GB/T 40279-2021 硅片表面薄膜厚度的测试 光学反射法

Test method for thickness of films on silicon wafer surface—Optical reflection method

资源信息

标准号 GB/T 40279-2021 标准状态 现行
发布日期 2021-08-20 实施日期 2022-03-01
发布单位 国家市场监督管理总局、中国国家标准化管理委员会
归口单位 国家标准委

标准状态：现行
标准号：GB/T 40279-2021
标准名：硅片表面薄膜厚度的测试 光学反射法
标准英文名：Test method for thickness of films on silicon wafer surface—Optical reflection method
批准发布部门：国家标准委
中国标准分类号：H21
国际标准分类号：77.040
标准层级：GBT推荐性国家标准

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