GB/T 38614-2020 基于柔性铰链机构和压电陶瓷驱动器的纳米定位与扫描平台测量方法
Measuring method for nano positioning and scanning stage based on flexible hinge mechanism and piezo actuator
资源信息
| 标准号 | GB/T 38614-2020 | 标准状态 | 现行 |
|---|---|---|---|
| 发布日期 | 2020-04-28 | 实施日期 | 2020-11-01 |
| 发布单位 | 国家市场监督管理总局、中国国家标准化管理委员会 | ||
| 归口单位 | 工业和信息化部（电子） | ||
标准状态：现行标准号：GB/T 38614-2020标准名：基于柔性铰链机构和压电陶瓷驱动器的纳米定位与扫描平台测量方法标准英文名：Measuring method for nano positioning and scanning stage based on flexible hinge mechanism and piezo actuator批准发布部门：工业和信息化部（电子）中国标准分类号：N10国际标准分类号：01.040.39标准层级：GBT推荐性国家标准
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