GB/T 38446-2020 微机电系统(MEMS)技术 带状薄膜抗拉性能的试验方法

Micro-electromechanical system technology—Test methods for tensile property measurement of strip thin films

资源信息

标准号 GB/T 38446-2020 标准状态 现行
发布日期 2020-03-06 实施日期 2020-10-01
发布单位
归口单位 国家标准委

标准状态:现行
标准号:GB/T 38446-2020
标准名:微机电系统(MEMS)技术 带状薄膜抗拉性能的试验方法
标准英文名:Micro-electromechanical system technology—Test methods for tensile property measurement of strip thin films
批准发布部门:国家标准委
中国标准分类号:L55
国际标准分类号:31.200
标准层级:GBT推荐性国家标准

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