GB/T 37049-2018 电子级多晶硅中基体金属杂质含量的测定 电感耦合等离子体质谱法
Test method for the content of metal impurity in electronic grade polysilicon—Inductively coupled-plasma mass spectrometry method
资源信息
| 标准号 | GB/T 37049-2018 | 标准状态 | 现行 |
|---|---|---|---|
| 发布日期 | 2018-12-28 | 实施日期 | 2019-04-01 |
| 发布单位 | 国家市场监督管理总局、中国国家标准化管理委员会 | ||
| 归口单位 | 国家标准委 | ||
标准状态：现行标准号：GB/T 37049-2018标准名：电子级多晶硅中基体金属杂质含量的测定 电感耦合等离子体质谱法标准英文名：Test method for the content of metal impurity in electronic grade polysilicon—Inductively coupled-plasma mass spectrometry method批准发布部门：国家标准委中国标准分类号：H17国际标准分类号：77.040.30标准层级：GBT推荐性国家标准
提示
本站资源均来自互联网公开发布和用户分享，仅供参考，勿用于任何商业用途