GB/T 36646-2018 制备氮化物半导体材料用氢化物气相外延设备
Equipment for preparation of nitride semiconductor materials by hydride vapor phase epitaxy
资源信息
| 标准号 | GB/T 36646-2018 | 标准状态 | 现行 |
|---|---|---|---|
| 发布日期 | 2018-09-17 | 实施日期 | 2019-01-01 |
| 发布单位 | 国家市场监督管理总局、中国国家标准化管理委员会 | ||
| 归口单位 | 国家标准委 | ||
标准状态：现行标准号：GB/T 36646-2018标准名：制备氮化物半导体材料用氢化物气相外延设备标准英文名：Equipment for preparation of nitride semiconductor materials by hydride vapor phase epitaxy批准发布部门：国家标准委中国标准分类号：L95国际标准分类号：31.220标准层级：GBT推荐性国家标准
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