GB/T 34899-2017 微机电系统(MEMS)技术 基于拉曼光谱法的微结构表面应力测试方法

Micro-electromechanical system technology—Measuring method of microstructure surface stress based on Raman spectroscopy

资源信息

标准号 GB/T 34899-2017 标准状态 现行
发布日期 2017-11-01 实施日期 2018-05-01
发布单位 中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局、中国国家标准化管理委员会
归口单位 国家标准委

标准状态:现行
标准号:GB/T 34899-2017
标准名:微机电系统(MEMS)技术 基于拉曼光谱法的微结构表面应力测试方法
标准英文名:Micro-electromechanical system technology—Measuring method of microstructure surface stress based on Raman spectroscopy
批准发布部门:国家标准委
中国标准分类号:L55
国际标准分类号:31.200
标准层级:GBT推荐性国家标准

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