GB/T 34898-2017 微机电系统（MEMS）技术 MEMS谐振敏感元件非线性振动测试方法

Micro electromechanical system technology—Test method for the nonlinear vibration of the MEMS resonant sensitive element

资源信息

标准号 GB/T 34898-2017 标准状态 现行
发布日期 2017-11-01 实施日期 2018-05-01
发布单位 中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局、中国国家标准化管理委员会
归口单位 国家标准委

标准状态：现行
标准号：GB/T 34898-2017
标准名：微机电系统（MEMS）技术 MEMS谐振敏感元件非线性振动测试方法
标准英文名：Micro electromechanical system technology—Test method for the nonlinear vibration of the MEMS resonant sensitive element
批准发布部门：国家标准委
中国标准分类号：L55
国际标准分类号：31.200
标准层级：GBT推荐性国家标准

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