GB/T 34481-2017 低位错密度锗单晶片腐蚀坑密度(EPD)的测量方法

Test method for measuring etch pit density (EPD) in low dislocation density monocrystalline germanium slices

资源信息

标准号 GB/T 34481-2017 标准状态 现行
发布日期 2017-10-14 实施日期 2018-07-01
发布单位 中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局、中国国家标准化管理委员会
归口单位 国家标准委

标准状态:现行
标准号:GB/T 34481-2017
标准名:低位错密度锗单晶片腐蚀坑密度(EPD)的测量方法
标准英文名:Test method for measuring etch pit density (EPD) in low dislocation density monocrystalline germanium slices
批准发布部门:国家标准委
中国标准分类号:H25
国际标准分类号:77.040
标准层级:GBT推荐性国家标准

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