GB/T 32280-2022 硅片翘曲度和弯曲度的测试 自动非接触扫描法
Test method for warp and bow of silicon wafers—Automated non-contact scanning method
资源信息
| 标准号 | GB/T 32280-2022 | 标准状态 | 现行 |
|---|---|---|---|
| 发布日期 | 2022-03-09 | 实施日期 | 2022-10-01 |
| 发布单位 | 国家市场监督管理总局、中国国家标准化管理委员会 | ||
| 归口单位 | 国家标准委 | ||
标准状态：现行标准号：GB/T 32280-2022标准名：硅片翘曲度和弯曲度的测试 自动非接触扫描法标准英文名：Test method for warp and bow of silicon wafers—Automated non-contact scanning method批准发布部门：国家标准委中国标准分类号：H21国际标准分类号：77.040标准层级：GBT推荐性国家标准
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