GB/T 31225-2014 椭圆偏振仪测量硅表面上二氧化硅薄层厚度的方法
Test method for the thickness of silicon oxide on Si substrate by ellipsometer
资源信息
| 标准号 | GB/T 31225-2014 | 标准状态 | 现行 |
|---|---|---|---|
| 发布日期 | 2014-09-30 | 实施日期 | 2015-04-15 |
| 发布单位 | 中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局、中国国家标准化管理委员会 | ||
| 归口单位 | 中国科学院 | ||
标准状态：现行标准号：GB/T 31225-2014标准名：椭圆偏振仪测量硅表面上二氧化硅薄层厚度的方法标准英文名：Test method for the thickness of silicon oxide on Si substrate by ellipsometer批准发布部门：中国科学院中国标准分类号：J04国际标准分类号：17.040.01标准层级：GBT推荐性国家标准
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