GB/T 28277-2012 硅基MEMS制造技术 微键合区剪切和拉压强度检测方法
Silicon-based MEMS fabrication technology - Measurement method of cutting and pull-press strength of micro bonding area
资源信息
| 标准号 | GB/T 28277-2012 | 标准状态 | 现行 |
|---|---|---|---|
| 发布日期 | 2012-05-11 | 实施日期 | 2012-12-01 |
| 发布单位 | 中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局、中国国家标准化管理委员会 | ||
| 归口单位 | 国家标准委 | ||
标准状态：现行标准号：GB/T 28277-2012标准名：硅基MEMS制造技术 微键合区剪切和拉压强度检测方法标准英文名：Silicon-based MEMS fabrication technology - Measurement method of cutting and pull-press strength of micro bonding area批准发布部门：国家标准委中国标准分类号：L55国际标准分类号：31.200标准层级：GBT推荐性国家标准
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