GB/T 28276-2012 硅基MEMS制造技术 体硅溶片工艺规范

Silicon-based MEMS fabrication technology - Specification for the dissolved wafer process

资源信息

标准号 GB/T 28276-2012 标准状态 现行
发布日期 2012-05-11 实施日期 2012-12-01
发布单位 中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局、中国国家标准化管理委员会
归口单位 国家标准委

标准状态：现行
标准号：GB/T 28276-2012
标准名：硅基MEMS制造技术 体硅溶片工艺规范
标准英文名：Silicon-based MEMS fabrication technology - Specification for the dissolved wafer process
批准发布部门：国家标准委
中国标准分类号：L55
国际标准分类号：31.200
标准层级：GBT推荐性国家标准

提示

本站资源均来自互联网公开发布和用户分享，仅供参考，勿用于任何商业用途

相关内容

  1. GB/T 24737.9-2012 工艺管理导则 第9部分：生产现场工艺管理
  2. GB/T 24737.5-2009 工艺管理导则 第5部分：工艺规程设计
  3. LY/T 1068-2022 锯材窑干工艺规程
  4. T/CWAN 0066-2022 气电立焊推荐工艺规程
  5. GB/T 41923.2-2022 机械产品三维工艺设计 第2部分：通用要求
  6. GB/T 41923.4-2022 机械产品三维工艺设计 第4部分：工艺符号与标注
  7. T/SKIA 02-2022 葵花籽仁生产炒制工艺规程
  8. DB34/T 258-2012 太平猴魁茶工艺规程
  9. GB/T 41923.6-2022 机械产品三维工艺设计 第6部分：数据要求
  10. GB/T 41436-2022 指画颜料中三氯生和三氯卡班含量的测定 高效液相色谱法