GB/T 26113-2010 微机电系统（MEMS）技术 微几何量评定总则（外文版EN）

Micro-electromechanical system technology - General rules for the assessment of micro-geometrical parameters

资源信息

标准号 GB/T 26113-2010 标准状态 现行
发布日期 2016-12-13 实施日期
发布单位 中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局、中国国家标准化管理委员会
归口单位 国家标准委

标准状态：现行
标准号：GB/T 26113-2010
标准名：微机电系统（MEMS）技术 微几何量评定总则（外文版EN）
标准英文名：Micro-electromechanical system technology - General rules for the assessment of micro-geometrical parameters
批准发布部门：国家标准委
原文语种：EN
中国标准分类号：L55
国际标准分类号：31.2
标准层级：GBT推荐性国家标准

提示

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