GB/T 18682-2002 物理气相沉积TiN薄膜技术条件
Specifications of physical vapour deposition TiN films
资源信息
| 标准号 | GB/T 18682-2002 | 标准状态 | 现行 |
|---|---|---|---|
| 发布日期 | 2002-03-10 | 实施日期 | 2002-08-01 |
| 发布单位 | 中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局 | ||
| 归口单位 | 中国机械工业联合会 | ||
标准状态：现行标准号：GB/T 18682-2002标准名：物理气相沉积TiN薄膜技术条件标准英文名：Specifications of physical vapour deposition TiN films批准发布部门：中国机械工业联合会中国标准分类号：A29国际标准分类号：25.220.20标准层级：GBT推荐性国家标准
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