GB/T 16596-2019 确定晶片坐标系规范
Specification for establishing a wafer coordinate system
资源信息
| 标准号 | GB/T 16596-2019 | 标准状态 | 现行 |
|---|---|---|---|
| 发布日期 | 2019-03-25 | 实施日期 | 2020-02-01 |
| 发布单位 | 国家市场监督管理总局、中国国家标准化管理委员会 | ||
| 归口单位 | 国家标准委 | ||
标准状态：现行标准号：GB/T 16596-2019标准名：确定晶片坐标系规范标准英文名：Specification for establishing a wafer coordinate system批准发布部门：国家标准委中国标准分类号：H80国际标准分类号：29.045标准层级：GBT推荐性国家标准
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