GB/T 15872-2013 半导体设备电源接口
Power supply interface for semiconductor equipment
资源信息
| 标准号 | GB/T 15872-2013 | 标准状态 | 现行 |
|---|---|---|---|
| 发布日期 | 2013-12-17 | 实施日期 | 2014-05-15 |
| 发布单位 | 中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局、中国国家标准化管理委员会 | ||
| 归口单位 | 工业和信息化部（电子） | ||
标准状态：现行标准号：GB/T 15872-2013标准名：半导体设备电源接口标准英文名：Power supply interface for semiconductor equipment批准发布部门：工业和信息化部（电子）中国标准分类号：L23国际标准分类号：31.220.10标准层级：GBT推荐性国家标准
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