GB/T 15861-2012 离子束蚀刻机通用规范
General specification of ion beam etching system
资源信息
| 标准号 | GB/T 15861-2012 | 标准状态 | 现行 |
|---|---|---|---|
| 发布日期 | 2012-11-05 | 实施日期 | 2013-02-15 |
| 发布单位 | 中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局、中国国家标准化管理委员会 | ||
| 归口单位 | 工业和信息化部（电子） | ||
标准状态：现行标准号：GB/T 15861-2012标准名：离子束蚀刻机通用规范标准英文名：General specification of ion beam etching system批准发布部门：工业和信息化部（电子）中国标准分类号：L97标准层级：GBT推荐性国家标准
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