DB35/T 1248-2012 电子工业用锗烷气体中杂质含量的测定 气相色谱法

资源信息

标准状态：现行
标准号：DB35/T 1248-2012
标准名：电子工业用锗烷气体中杂质含量的测定 气相色谱法
批准发布部门：福建省质量技术监督局
制修订：制定
中国标准分类号：G86
国际标准分类号：71.040.40
行业分类：制造业
标准类别：方法标准
标准分类：福建省
标准层级：DB35福建省地方标准
备案号：35487-2013
备案日期：2012-12-03
适用范围:本标准规定了用气相色谱法测定电子工业用锗烷气体中杂质含量的方法。 本标准适用于电子工业用锗烷气体中氢、氧（氩）、氮、甲烷、一氧化碳、二氧化碳含量的测定。 各杂质组分的检测限：氢：0.02 μmol/mol、氧（氩）：0.01 μmol/mol、氮：0.01μmol/mol、甲烷：0.005 μmol/mol、一氧化碳：0.02 μmol/mol、二氧化碳：0.005μmol/mol；各杂质组分检测线性范围：氢、氧（氩）、氮≤1000μmol/mol，甲烷、一氧化碳、二氧化碳≤2000μmol/mol。
起草单位：国家化学工业气体产品质量监督检验中心（福建）
起草人：林宇巍、陈熔、陈华、邹震、林永荣、张凤利、陈小娟、叶树海、郑江琳